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行業:我們的現場廢氣處理

戴思 DAS Environmental Expert 可以為世界各地的高科技產品制造商提供量身定制的有效解決方案。這是我們按照與人類及環境保護相一致的方式為社會的技術發展做出的貢獻。

行業與參照一覽

戴思 DAS Environmental Expert廢氣處理解決方案始終進行量身定制。我們為半導體 /MEMS 與太陽能行業客戶以及 TFT 與 LED 領域客戶提供支持,可以分析最佳處理效果、優化現場設備并對客戶群進行維護。

適用于半導體行業的高效廢氣處理

許多工業與研究生產規程都采用工藝氣體,并且會產生廢氣,例如:在晶片清洗或蝕刻、CVD 和外延工藝過程期間。這些廢氣被視為溫室氣體,具有毒性和/或高易燃性,并且經常會對生產設施及環境造成顯著的風險。

適用于太陽能行業的廢氣處理

我們在 CVD、TCO 與烘干工藝過程方面具有豐富的技術專長,這將使我們的太陽能行業客戶獲益。對于薄膜模塊與基于晶片的電池,我們具有詳盡的制作過程知識,這意味著我們明白廢氣治理對于這些工藝過程的安全而言必不可少。

適用于 TFT 行業的可靠廢氣處理

制造 TFT/LCD 顯示器也需要進行廢氣處理。例如,在玻璃基板上生產大型薄膜晶體管(TFT)的工藝過程采用化學氣相沉積(CVD)將薄膜分離到材料上。

戴思 DAS Environmental Expert 為 LED 行業提供的高效廢氣處理

LED 行業在過去幾年中經歷了強勁的增長。這也意味著增加排放量,需要在使用點由特殊的廢氣處理系統減少排放量。在制造基于創新發光二極管(LED)技術的產品時,將大量使用氨氣與氫氣作為工藝氣體。

適用于納米技術制造的廢氣處理解決方案

在納米技術方面,采用了微小的顆粒物(希臘語 nános,意為“矮人”)。這些顆粒物的尺寸范圍為單個原子到大約一百納米直徑。由于具有這樣的小尺寸,納米材料性質將受到其大表面面積的強烈影響。憑借這一點可以實現期望的效果,例如:著名的荷葉效應或者碳納米管的巨大載流容量。

源自于德累斯頓、面向 MEMS 制造商的治理技術

對于面向未來的技術,例如:工業 4.0、自動駕駛車輛與物聯網(IoT),由于 MEMS 部件是模擬與數字領域之間的聯系環節以及數字化數據處理的交換機,因此它們具有基礎性的重要意義。隨著這些面向未來的技術的快速發展,MEMS 的市場與市場份額正處于增長之中。