德國 DAS 戴思環保的廢氣處理解決方案
自 1991 年以來，德國 DAS 戴思環保一直致力于開發和生產用于高科技行業，如光伏、太陽能和半導體等領域的廢氣處理系統。德國 DAS 戴思環保的廢氣處理創新技術與方案旨在平衡工業增長與自然資源保護，有助于解決工業生產中的各類廢氣排放問題。源自德國的環保科技，助力中國可持續發展。
關于廢氣處理的治理概念
廢氣處理對穩定的工業生產及人類的環境保護起到積極作用。德國 DAS 戴思環保致力于這一任務已經超過了 30 年。戴思環保的環境治理概念始終按照德國的工業高標準進行定制和推行。德國 DAS 的全球服務團隊按專業方式為所有已安裝的 DAS 廢氣處理系統提供支持。
德國 DAS 在德累斯頓/德國的總部以及在臺灣和美國的創新中心都具有內部研發能力，戴思環保與客戶密切合作，可以迅速采取新的創新周期。戴思 DAS 廢氣處理解決方案符合高科技行業的最高質量與安全標準，并且滿足德國空氣質量控制技術指南（TA Luft）的嚴格要求。所以這一切都使德國戴思 DAS Environmental Expert 成為了在其所在分支領域中處于領先地位的公司之一。
定制廢氣處理系統的規劃與設計
德國DAS戴思環保與制造商、建筑設計師及 OEM 進行合作，可以開發并優化廢氣處理系統。我們可以攜手一起找出在安全、成本、節能及關聯服務方面的創新解決方案。
使用端DAS廢氣處理系統
戴思 DAS Environmental Expert 的使用端廢氣處理系統可以即時處理工藝過程中的廢氣，例如：在光伏、半導體、LED 和液晶屏行業中產生的廢氣，戴思DAS洗滌器可以處理具有可冷凝性、易燃性、腐蝕性、活性、毒性和/或自燃性氣體和細微粉塵。德國DAS廢氣處理系統包括燃燒/水洗系統、濕式洗滌器、熱解和靜電過濾器。
廢氣處理系統的優化
對于客戶而言，工藝過程優化經常會引起廢氣成分和數量發生變動，對于廢氣處理系統的要求也會產生變化。對于多變的系統部件和模塊行業標準，也需要在廢氣處理系統上進行持續的進一步開發。
DAS 廢氣處理系統的服務與維護
戴思 DAS Environmental Expert 服務團隊可以根據要求或者在世界各地的高科技工場作為常駐現場團隊全天候恭候您的差遣。我們的客戶支持包括啟動、專業維護和技術支持。我們將在全世界范圍內專門憑借原裝備用零件與耗材零件展開工作，確保廢氣處理的安全和效率。
關鍵工藝過程的廢氣處理
諸如半導體、光伏模塊、液晶屏幕和發光二極管（LED）之類的高科技產品的制造采用高度復雜的多級制造工藝過程。每個生產步驟都需要在使用端直接進行廢氣處理。點擊了解更多，查看德國 DAS 廢氣處理解決方案在這些工藝過程應用的詳細信息。
工業中的環境治理與廢氣處理
半導體、光伏、太陽能、液晶屏幕與發光二極管（LED）的制造商需要采用非常復雜的多級制造工藝過程，而這些過程會產生有毒有害廢氣。這樣的工藝過程步驟可能包括蝕刻、CDV、外延及 TCO。由于下列幾個原因，需要在使用端進行即時廢氣處理：
1. 制造過程穩定性：
使用的許多工藝氣體都具有易燃性或爆炸性，例如：氫氣（H2）或硅烷（SiH4），而其它工藝氣體則具有毒性（COF2、HBr、F2），因此，必須在接觸到人或野生動物前對它們進行處理。
2. 環境保護：
使用的許多氣體都對環境具有危險性。例如，四氟化碳（CF4）在大氣中的存在期限約為 50,000 年，而它具有的全球暖化潛勢是二氧化碳（CO2）的 6,500 倍。
3. 制造過程穩定性：
許多廢氣都在氣流中包含大量的顆粒物或粉塵。這種粉塵有可能會擾亂設施排氣裝置，導致制造工廠出現非預定的停產時間。使粉塵難以處理的因素是顆粒物尺寸通常為亞微米級，它們可以輕易穿過濕式洗滌器或物理過濾器，不會被截留在洗滌液體中。
在通常情況下，廢氣處理設施位于輔助生產層中，布置在真空泵之后。在物理上接近真空泵將帶來幾個優勢：縮短這兩個工具之間的氣體管線，同時降低泄漏的概率并具有節約成本的可能性——這是因為一些工藝過程需要對該管線進行加熱，以便避免在廢氣管線內發生冷凝。DAS 廢氣處理系統的應用將降低對于氣體管線清洗與維護的需求。戴思環保的案例研究章節將給出一些實例。
