行業(yè)領(lǐng)先的減排系統(tǒng)：DAS環(huán)保在半導(dǎo)體溫室氣體處理效率指標(biāo)上遠(yuǎn)超行業(yè)基準(zhǔn)
2025.11.13
驗(yàn)證強(qiáng)調(diào)了DAS EE在先進(jìn)和可持續(xù)減排解決方案領(lǐng)域35年的領(lǐng)導(dǎo)地位
德國德累斯頓，2025年11月13日——隨著半導(dǎo)體行業(yè)加緊努力實(shí)現(xiàn)凈零排放，最近發(fā)表的SEMI SCC白皮書《氟類溫室氣體和一氧化二氮半導(dǎo)體減排技術(shù)概述》（2024年）為溫室氣體減排確立了新的行業(yè)性能基準(zhǔn)。 該報(bào)告定義了四氟化碳（CF?）的最低破壞和清除效率（DRE）>95%，并將工藝氣體減排系統(tǒng)的最高目標(biāo)設(shè)定為>99%。
這些新的參考點(diǎn)代表了在許多環(huán)境、社會(huì)及治理（ESG）報(bào)告和供應(yīng)商要求中使用的傳統(tǒng)假設(shè)之外的重大進(jìn)步，過去這些報(bào)告和要求通常依賴于溫室氣體減排性能的保守默認(rèn)值。然而，即使是SEMI SCC目標(biāo)的上限范圍，也尚未體現(xiàn)現(xiàn)代技術(shù)的全部潛力。
DAS Environmental Expert GmbH氣體處理首席運(yùn)營官Stephan Raithel說：“像TILIA這樣的系統(tǒng)證明，超越當(dāng)前行業(yè)基準(zhǔn)不僅是可能的，而且在經(jīng)濟(jì)上也是合理的。” “隨著碳稅的上升和可持續(xù)性目標(biāo)的收緊，投資高效減排技術(shù)將直接轉(zhuǎn)化為運(yùn)營和財(cái)務(wù)收益。”
全球半導(dǎo)體行業(yè)每年排放數(shù)千噸CF4，這種氣體的全球變暖潛能值（GWP）為7,390。 即使是幾噸未減排的排放量也相當(dāng)于數(shù)百萬噸二氧化碳當(dāng)量。 雖然目前的行業(yè)實(shí)踐旨在滿足SCC建議的最低DRE，但只有運(yùn)行穩(wěn)定性持續(xù)高于99.9%的系統(tǒng)，才能使行業(yè)實(shí)現(xiàn)其凈零排放承諾。
SEMI SCC白皮書強(qiáng)調(diào)，實(shí)現(xiàn)這些更高的效率對(duì)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展路線圖至關(guān)重要，并且需要廣泛采用下一代減排技術(shù)。 DAS久經(jīng)考驗(yàn)的TILIA 平臺(tái)體現(xiàn)了這種轉(zhuǎn)變——在半導(dǎo)體行業(yè)樹立了“最佳減排性能”的新標(biāo)桿。
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此外，DAS集團(tuán)還為工業(yè)水處理開發(fā)先進(jìn)的工藝和系統(tǒng)解決方案，擁有豐富的半導(dǎo)體行業(yè)廢水回收和再利用經(jīng)驗(yàn)。
DAS的解決方案旨在滿足半導(dǎo)體制造對(duì)純度的嚴(yán)格要求，幫助客戶遵守全球環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。
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